科特萊思科熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)-Nano-36
- 公司名稱 冠乾科技(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/9/8 11:31:28
- 訪問次數(shù) 2175
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靶材材質(zhì) | 鎢靶等 | 靶材尺寸 | 300*300mm |
---|---|---|---|
產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
濺射氣體 | 氮氣等 | 控制方式 | 自動 |
樣品倉尺寸 | 400*400mm | 樣品臺尺寸 | 300*300mm |
應用領(lǐng)域 | 電子,冶金,航天,汽車,電氣 |
科特萊思科熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)-Nano-36
科特萊思科熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)Nano36擁有LOAD LOCK預真空進樣室(可選)、前開門蒸發(fā)腔體、冷凝泵和干泵、多個熱阻蒸發(fā)源或OLED低溫蒸發(fā)源。
在高真空下,電子槍燈絲加熱后發(fā)射熱電子,被加速陽極加速,獲得很大的動能轟擊到的蒸發(fā)材料上,把動能轉(zhuǎn)化成熱使蒸發(fā)材料加熱氣化,而實現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜。電子束蒸發(fā)源由發(fā)射電子的熱陰極、電子加速極和作為陽極的鍍膜材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可高度集中,使鍍膜材料局部達到高溫而蒸發(fā)。通過調(diào)節(jié)電子束的功率,可以方便的控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率,特別是有利于高熔點以及高純金屬和化合物材料??稍诟哒婵障抡舭l(fā)不同厚度的各種金屬與氧化物薄膜,廣泛應用于物理,生物,化學,材料,電子等領(lǐng)域。
科特萊思科熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)-Nano-36
在高真空下,電子槍燈絲加熱后發(fā)射熱電子,被加速陽極加速,獲得很大的動能轟擊到的蒸發(fā)材料上,把動能轉(zhuǎn)化成熱使蒸發(fā)材料加熱氣化,而實現(xiàn)蒸發(fā)鍍膜。電子束蒸發(fā)源由發(fā)射電子的熱陰極、電子加速極和作為陽極的鍍膜材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可高度集中,使鍍膜材料局部達到高溫而蒸發(fā)。通過調(diào)節(jié)電子束的功率,可以方便的控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率,特別是有利于高熔點以及高純金屬和化合物材料??稍诟哒婵障抡舭l(fā)不同厚度的各種金屬與氧化物薄膜,廣泛應用于物理,生物,化學,材料以及電子等領(lǐng)域。