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CRESTEC 超高分辨率電子束光刻EBL(CABL-UH series)
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CRESTEC
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/25 15:31:58
- 訪問次數(shù) 1718
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 150萬-200萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
超高分辨率電子束光刻EBL
Ultrahigh Resolution EB Lithography (CABL-UH series)
納米光刻技術(shù)在微納電子器件制作中起著關(guān)鍵作用,而電子束光刻在納米光刻技術(shù)制作中是好的方法之一。日本CRESTEC公司為21世紀(jì)先進納米科技提供 的電子束納米光刻(EBL)系統(tǒng),或稱電子束直寫(EBD)、電子束爆光系統(tǒng)。
超高分辨率的電子束光刻CABL-UH系列的型號包括:
CABL-UH90 (90keV) 、CABL-UH110 (110keV) 、CABL-UH130 (130keV)
技術(shù)參數(shù):
加速電壓:高130keV
單段加速能力達到130keV,盡量減少電子槍的長度
超短電子槍長度,無微放電
電子束直徑<1.6nm
小線寬<7nm
雙熱控制,實現(xiàn)超穩(wěn)定直寫能力