LiteScope™

掃描探針顯微鏡的設(shè)計易于集成到電子顯微鏡中。 互補的SPM 和SEM 技術(shù)的結(jié)合使得能夠利用兩種常用顯微鏡技術(shù)的優(yōu)勢。

全面的樣本分析，包括：

• 表面形貌的表征
• 機械性能
• 電性能
• 磁性

LiteScope™還可以與其他SEM附件結(jié)合使用：

• 聚焦離子束（FIB)
• 氣體注入系統(tǒng)（GIS）

用于制造納米/微結(jié)構(gòu)和表面修飾。通過這種組合，LiteScope™可以輕松快速地對制造的結(jié)構(gòu)進(jìn)行3D檢查。

其他優(yōu)勢

• 自感應(yīng)探頭，無需光學(xué)檢測，無需激光調(diào)整
• 商用探頭，多種測量模式
• 客戶定制的探頭可與根據(jù)客戶要求設(shè)計的合適探頭支架一起使用
• 測量頭可以縮回到LiteScope™的主體中，以釋放樣品周圍的空間
• SPM在傾斜位置（傾斜0°– 60°）的操作，小值 WD = 5毫米
• 用戶友好的軟件，無需特殊安裝
• 遠(yuǎn)程訪問結(jié)果和測量設(shè)置

相關(guān)探針 和電子顯微鏡（CPEM）已開發(fā)用于使用相關(guān)成像技術(shù)（正在申請專力），并帶來了解決方案，該解決方案可以同步：

• 掃描區(qū)域
• 分辨率和圖像失真
• 并能夠?qū)崟r關(guān)聯(lián)采集的SPM和SEM圖像

NenoVision引入了CPEM技術(shù)

CPEM技術(shù)

CPEM可以在同一時間和同一協(xié)調(diào)系統(tǒng)中同時通過SEM和SPM對一個區(qū)域進(jìn)行同時的表面表征。

以已知的恒定偏移量和相同的分辨率進(jìn)行同時掃描，可確保在同一表面上進(jìn)行分析，并可通過我們的NenoView軟件直接用于在線成像。

LiteScope™數(shù)據(jù)

LiteScope™通常用于高真空中，但也可根據(jù)要求適用于超高真空條件。

• 總重量：1 kg
• 真空工作范圍：10e5 Pa至10e-5 Pa
• 掃描范圍X，Y，Z：100×100 ×1 00μm或38x38x38μm
• 分辨率：高達(dá)0.4 nm或0.07 nm
• 大樣品尺寸：10毫米× 10毫米
• 大樣品高度：8毫米

我們提供*非磁性的版本，也可根據(jù)要求提供閉環(huán)。

• 外形小巧，體積小， 可集成到SEM / FIB儀器中
• 易于集成的過程 –安裝在SEM / FIB機械手上
• 當(dāng)整個SPM探針隱藏在LiteScopeTM主體中時，可使用對接選項
• 通用探頭支架，適用于多種SPM方法并易于“即插即用”組裝
• 樣品傾斜高達(dá)60°
• 針對低振動水平（剛度和適當(dāng)?shù)墓舱耦l率）進(jìn)行了優(yōu)化的機械設(shè)計，集成了前置放大器（以盡可能消除信號失真/噪聲）

• 動態(tài)測量的大PLL頻率為75 kHz，適用于基于音叉的探頭（或使用外部PLL或根據(jù)客戶要求更高）
• 每個掃描軸2 × 16位DAC（掃描范圍，偏移），以在視場內(nèi)的任何地方達(dá)到大分辨率
• 6 × 16位輔助輸入，用于同時測量用戶信號（±10 V）
• 輸入通道可用于反饋回路混頻器
• 探頭信號輸出/監(jiān)控
• 外部探頭激勵
• 使用外部鎖定/ PLL所需的所有連接
• 以太網(wǎng)連接到控制PC
• 110 VAC或230 VAC操作，200 W
• 前置放大器位于LiteScope™的主體內(nèi)，可確保大大降低電噪聲

• 保存數(shù)據(jù)以及所有信息，包括測量設(shè)??置
• 基于Web的用戶界面
• 易于新用戶使用，對專家靈活
• 用戶帳戶可配置
• 遠(yuǎn)程訪問用戶數(shù)據(jù)
• 將數(shù)據(jù)從控制PC下載到本地計算機
• 通過平板電腦，智能手機等進(jìn)行遠(yuǎn)程實驗控制
• 集成的數(shù)據(jù)后處理，分析，導(dǎo)出等

成像模式

LiteScope™提供并支持各種SPM測量方法和探頭。

其設(shè)計的基石和有價值的技術(shù)特征是通用探頭支架，可以非常輕松地“即插即用”安裝不同的探頭。

原子力顯微鏡

接觸模式
在接觸模式下，在整個樣品表面上“下垂”，并且可以直接使用懸臂的偏轉(zhuǎn)來測量表面的輪廓，或更常見的是，使用將懸臂保持在一定角度所需的反饋信號進(jìn)行測量。恒定撓度。

輕敲模式
在輕敲模式下，驅(qū)動探頭以其共振頻率或接近共振頻率垂直振蕩。這種振動是通過探針（音叉），集成加熱器元件（PRSA）或懸臂支架（PRS）中的小型壓電元件的壓電特性實現(xiàn)的。這種振蕩的幅度通常在幾納米到200納米之間變化。

導(dǎo)電模式
C-AFM）是原子力顯微鏡（AFM）的一種變體，與形貌學(xué)同時測量電流以構(gòu)建研究樣品的電導(dǎo)率圖。電流流過顯微鏡的金屬涂層頭部和導(dǎo)電樣品。

靜電力顯微鏡

EFM是一種動態(tài)非接觸式原子力顯微鏡，可在其中探測靜電力。由于分離的電荷的吸引或排斥而產(chǎn)生該力。這是一個遠(yuǎn)距離作用力，可以從樣品中檢測出100 nm或更大的距離。

局域電壓/電流測量

LiteScopeTM也可用作納米操縱器。將金屬頭部粘貼在樣品中所需的位置，然后測量局部電壓/電流。此模式不是顯微鏡技術(shù)，但可用于測量例如電子束感應(yīng)電流等。

力調(diào)制顯微鏡

FMM是在接觸模式下運行的AFM成像的擴(kuò)展，用于檢測樣品表面機械性能的變化，例如彈性或附著力。

在FMM模式下，AFM頭部與樣品表面接觸時進(jìn)行掃描，并且Z反饋環(huán)與恒力模式AFM一樣保持恒定的懸臂撓度。

開爾文探針力顯微鏡

KPFM是一種掃描探針法，其中可以使用與宏觀Kelvin探針相同的原理來測量探針頭部與表面的局部接觸電勢差。AFM中的懸臂是一個參比電極，該參比電極與表面形成電容器，在該表面上以恒定間隔橫向掃描。懸臂不是像通常的AFM那樣以其機械共振頻率ω0從外部驅(qū)動，盡管在此頻率下在頭部和表面之間施加了交流電壓。

磁力顯微鏡

MFM是原子力顯微鏡的一種模式，其中尖銳的磁化頭部可掃描磁性樣品；頭部樣品的磁性相互作用被檢測到并用于重建樣品表面的磁性結(jié)構(gòu)。

MFM可測量多種類型的磁相互作用，包括磁偶極-偶極相互作用，磁疇壁，磁渦旋等。MFM掃描通常使用非接觸式AFM（NC-AFM）模式。

掃描隧道顯微鏡

STM是一種用于在原子水平上成像導(dǎo)電表面的技術(shù)。STM不僅可以用于超高真空，還可以在空氣，水以及各種其他液體或氣體環(huán)境中使用，溫度范圍從接近零開爾文到幾百攝氏度。

Akiyama Probe

該探頭基于石英音叉 和微機械懸臂

這種新型探頭的優(yōu)點是，用戶可以通過一個探頭同時受益于音叉的極其穩(wěn)定的振蕩和硅懸臂的合理彈簧常數(shù)。

由NANOSENSORS提供

PRS/A 探針

壓電電阻敏感有源（PRSA）探頭是硅懸臂梁，具有集成的壓電電阻橋和熱加熱器，用于自感應(yīng)和自觸發(fā)掃描探頭顯微鏡應(yīng)用。

壓電電阻集成到匹配的惠斯通電橋中，以優(yōu)化靈敏度并補償環(huán)境熱漂移。

由SCL-Sensor.Tech提供

音叉

石英音叉用于檢測頭部和表面之間的原子力。音叉的高剛度可實現(xiàn)非常低的振蕩幅度，而高Q因子可確保足夠的靈敏度。探頭可以具有一個導(dǎo)電頭部，該導(dǎo)電頭部可以連接到電子讀數(shù)器（用于導(dǎo)電AFM或隧穿電流讀數(shù)器），而不會與叉形電極發(fā)生串?dāng)_。樣品的磁性也可以通過帶有鐵磁頭部的音叉?zhèn)鞲衅鱽頇z查。此外，有經(jīng)驗的終用戶可以使用各種頭部材料來構(gòu)造音叉?zhèn)鞲衅?，以調(diào)節(jié)所需的特性。

Pt/Ir wire

導(dǎo)線是用于STM測量的基本探針。

盡管Pt / Ir合金是容易用于此目的的合金之一，但可以使用許多其他材料（例如金，鉬，鎳等）。導(dǎo)線可以被電化學(xué)蝕刻或機械切割以形成非常鋒利的頭部。這種探針還適合在納米操縱器模式下進(jìn)行本地電壓/電流測量。

掃描電鏡集成

LiteScope™是專為在“ 即插即用 ”模式下集成到不同制造商的SEM顯微鏡而設(shè)計的。我們提供可以根據(jù)客戶要求定制的適當(dāng)適配器和饋通。

LiteScope™易于安裝，只需通過四個螺釘將電子顯微鏡連接到樣品臺，即可將電纜插入已準(zhǔn)備好的真空饋通中。