JS-600M 小型磁控濺射儀
| 參考價(jià) | ￥ 38000 |
| 訂貨量 | ≥1 臺(tái) |
- 公司名稱 南京舜儀實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司
- 品牌 舜儀
- 型號(hào) JS-600M
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/3/28 14:44:22
- 訪問(wèn)次數(shù) 2990
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| 靶材材質(zhì) | 金 | 靶材尺寸 | 50*0.1mm |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 1-5萬(wàn) |
| 濺射氣體 | 空氣或者氬氣 | 控制方式 | 手動(dòng) |
| 樣品倉(cāng)尺寸 | 160*110mm | 樣品臺(tái)尺寸 | 65mm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,航天,汽車,綜合 | 適用靶材 | 金、銀、鉑、氧化鋅 |
一、產(chǎn)品應(yīng)用：
JS-600M小型磁控濺射儀采用二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)，帶磁控靶頭，有水冷功能。設(shè)備操作簡(jiǎn)單方便，適用于掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。
磁控濺射為冷濺射，對(duì)樣品表面的升溫較低，適用對(duì)溫度較敏感的薄膜樣品。用戶可以根據(jù)自己的需要自行選擇不同的真空條件，濺射電流。大尺寸的真空腔體設(shè)計(jì)，滿足大樣品的濺射需求。標(biāo)配一片金靶，純度為99.999%，為獲得高質(zhì)量的金膜提供了良好的基礎(chǔ)。
二、配置及技術(shù)指標(biāo)：
1.本系統(tǒng)裝配了水冷卻磁控靶，靶面直徑為50mm；
2.主機(jī)規(guī)格：L360mm*W300mm*H380mm；
3.靶（上部電極）：金：直徑：50mm，厚度：0.1mm；
4.真空樣品室：直徑：160mm，高：110mm；
5.濺射面積：Ф50mm；
6.工作真空：2×10-1—6×10-2 mbar；
7.離子電流表：0-100mA；
8.定時(shí)器：根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時(shí)間；
9.針閥： 配有進(jìn)氣口，微量充氣調(diào)節(jié)，可連接φ4*2.5mm軟管；
10.工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣等多種氣體；
11.濺射電壓：-1600 DCV；
12.飛躍真空泵（VRD-4）：1.1L/S。
三、產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.輕便、濺射面積大；
2.可以濺射鉑、金、銀及氧化鋅；
3.濺射效率高，可水冷降溫；
備注：JS-600M小型磁控濺射儀可適用的靶材：金、鉑、銀。
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