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          化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>掩模版和中間掩模版制造設(shè)備>掩模光刻膠處理及清洗設(shè)備>VGB3/3plus CIF手套箱專用等離子清洗機(jī)

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          VGB3/3plus CIF手套箱專用等離子清洗機(jī)

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          產(chǎn)品標(biāo)簽

          等離子清洗機(jī)清洗機(jī)

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          深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

          致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

          公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

           

           

           

           

           

           

           

           

          冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

          一、CIF手套箱專用等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品簡介

          CIF推出VGB-P系列手套箱專用等離子清洗設(shè)備,優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計更適合手套箱內(nèi)使用。安裝簡單方便,性能穩(wěn)定,實用性強(qiáng),容易維護(hù)。  

          二、CIF手套箱專用等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品特點

          1. 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機(jī)器運(yùn)行、停止提示。

          2. PLC工控機(jī)控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

          3. 真空倉體,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。

          4. 自動匹配器,功率無極可調(diào)。

          5. 采用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計,雙路氣體控制氣體流量,可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體分配均勻,經(jīng)濟(jì)實用。

          6. HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

          7. 弧形等離子激發(fā)板,等離子激發(fā)能力更強(qiáng)。

          8. 分體式設(shè)計,便于手套箱內(nèi)使用。

          9. 安全保護(hù),倉門打開,自動關(guān)閉電源。

          三、技術(shù)參數(shù)

          型號

          VGB3

          VGB3Plus

          艙體尺寸

          D178xΦ150mm

          D178xΦ150mm

          艙體容積

          3L

          3L

          射頻電源

          40KHz

          13.56MHz

          匹配器

          自動匹配

          自動匹配

          激發(fā)方式

          電容式

          電容式

          射頻功率

          10-300W可調(diào)

          10-150W可調(diào)

          氣體控制

          雙浮子流量計(標(biāo)配)

          有效處理尺寸

          L200xW155mm

          時間設(shè)定

          1-99分59秒

          真空泵

          抽速4-8m3/h

          氣體穩(wěn)定時間

          1分鐘

          真空度

          100pa以內(nèi)

          AC220V 50-60Hz







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