氣體流量控制器MFC300的核心部件包括流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥以及控制單元。流量傳感器負(fù)責(zé)實時監(jiān)測通過管道的氣體質(zhì)量流量，并將其轉(zhuǎn)化為電信號傳遞給控制單元；控制單元則根據(jù)預(yù)設(shè)的流量值與實際測量值之間的差異，通過調(diào)整流量調(diào)節(jié)閥的開度來實現(xiàn)流量的精確控制。整個過程高度自動化，能夠?qū)崿F(xiàn)快速響應(yīng)和精準(zhǔn)調(diào)節(jié)。

氣體流量控制器的工作原理主要基于毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理?，?通過傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，?放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，?再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，?實現(xiàn)閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。?這種控制器由流量傳感器、?分流器通道、?流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成，?無需溫度壓力補償即可測量氣體的質(zhì)量流量。?

具體來說，?氣流進(jìn)入進(jìn)氣管道后，?大部分流量流過分流器通道，?其中很小一部分進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。?由于分流器通道的特殊結(jié)構(gòu)，?可以實現(xiàn)這兩部分氣體流量成正比例關(guān)系。?傳感器經(jīng)過預(yù)熱加溫，?里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，?此時通過毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理測量這一小部分氣體的質(zhì)量流量。?這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，?將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，?經(jīng)過放大后輸出，?完成MFM的功能。?通過加入PID閉環(huán)自動控制功能，?將傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進(jìn)行比較，?以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，?使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等，?從而實現(xiàn)MFC的功能。?

此外，?雖然體積流量的表示方法對多數(shù)用戶而言很符合習(xí)慣且便于使用，?但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（?如g/min）?。?這個需求很容易實現(xiàn)，?因為在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù)，?可以方便地查到，?因此簡單地做一個乘法（?以密度乘以若干slm）?即可實現(xiàn)。?這樣，?在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量