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CY-EBH500-SS 高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀
參考價(jià) | ¥ 60000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CY-EBH500-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/21 9:20:35
- 訪問次數(shù) 27
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 1-5萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 文體,地礦,能源,建材,冶金 |
簡(jiǎn)單介紹:
高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀主要用于制備各種導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預(yù)處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質(zhì)襯底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-EBH500-SS | |
樣品臺(tái) | 外形尺寸 | <150mm,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn) |
可調(diào)溫度 | ≦500℃ | |
電子槍 | 新型電子槍,6孔坩堝 | |
加熱燈 | 4只鹵素加熱燈用于除氣,1個(gè)氖燈用于照明 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | Φ500*H500mm |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測(cè)量 | 采用SQM160膜厚儀進(jìn)行監(jiān)控,涂層厚度不均勻度小于6%。 | |
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級(jí)泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-5Pa | |
水冷系統(tǒng) | 水壓<2.5bar 水壓監(jiān)測(cè) | |
加熱燈 | 4只鹵素加熱燈用于除氣,1個(gè)氖燈用于照明 | |
電極接口 | 帶2路金屬蒸發(fā)電極接口 | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC380V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
整機(jī)功率 | 20KW | |
整機(jī)重量 | 350kg |