CY-EBH500-SS 卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀
參考價 | ¥ 90000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-EBH500-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/12/21 10:07:22
- 訪問次數(shù) 20
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 文體,地礦,能源,建材,冶金 |
簡單介紹:
卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等。
詳情介紹:
本儀器是一種高真空蒸發(fā)鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發(fā)源,并且樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離是可調(diào)的。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機(jī)物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀察窗,因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統(tǒng)的真空10E-4Pa,可有效提高涂層質(zhì)量,并能滿足大多數(shù)蒸發(fā)涂層實驗所需的真空環(huán)境。
用途:
可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物等。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 卷繞式高真空蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-EVH600R-II-HH-SS | |
供電電壓 | 單相,AC220V, 50Hz | |
真空腔體 | 內(nèi)壁處理 | 電解拋光 |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
腔體尺寸 | 臥式Φ600mm×500mm | |
觀察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
卷繞系統(tǒng) | 收放卷 | Φ200mmx300mm |
速度 | 60m/min(可調(diào)) | |
張緊 | 可調(diào) | |
蒸發(fā)源和電源 | 部件數(shù)量 | 1套金屬蒸發(fā)源,帶獨立擋板 |
電極電壓 | 10V | |
送絲速度 | ≤3m/min | |
蒸發(fā)電流 | 功率2KW,*大電流為160A,調(diào)節(jié)精度為1A | |
蒸發(fā)器 | 鎢舟,1個 | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵,抽速1.1L/s |
渦輪分子泵 | 抽速:600L/s; 額定轉(zhuǎn)速:24000rpm; 啟動時間:≦4.5min 冷卻方式:水冷+空冷 進(jìn)氣接口:ISO150 出氣接口:KF40 真空度:5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar) 抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的時間少于40分鐘 | |
復(fù)合真空計 | 測量范圍 105Pa~10-5Pa | |
膜厚監(jiān)測儀 | 測量精度 | 0.1? |
測量速度 | 100ms-1s/次 | |
可設(shè)置測量范圍 | 500000?(鋁) | |
標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體 | 6MHz | |
適用晶體尺寸 | Φ14mm (標(biāo)配10片) | |
空壓機(jī) | 作用于電控氣動閥 | |
水冷機(jī) | 冷卻水溫度:≦37℃ 流速:10L/min 功率:0.1KW 冷卻功率:50W/℃ 水箱容量:9L | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制器 |