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采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級物鏡掃描臺，內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構，確保了掃描臺優(yōu)秀的運動精度。掃描臺內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。掃描臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。聚焦行程可達100微米。分體的螺紋適配器，可適配多種型號的物鏡。