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動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀

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品牌 其他品牌
型號(hào) PHI ADEPT 1010
廠商性質(zhì) 代理商
所在地 北京市

屬性

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更新時(shí)間：2022-03-07 17:24:34瀏覽次數(shù)：2153評(píng)價(jià)

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二次離子質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品簡介

價(jià)格區(qū)間	面議	儀器種類	飛行時(shí)間
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子,綜合

動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀（D-SIMS）是使用一次離子束（通常是Cs源）轟擊樣品表面，而產(chǎn)生二次離子，然后用質(zhì)譜分析儀分析二次離子的質(zhì)荷比（m/q），從而得知元素在樣品中的深度分布，是分析半導(dǎo)體摻雜和離子注入的強(qiáng)有力的工具。

詳細(xì)介紹

優(yōu)勢

ULVAC-PHI 最新設(shè)計(jì)的四極桿-二次離子質(zhì)譜儀ADPT1010，在原有的PHI6300和PHI6600的基礎(chǔ)上，改善了離子光學(xué)系統(tǒng)，是在一次離子能量低至250eV時(shí)，仍保持有效的濺射束流的動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜系統(tǒng)（D-SIMS）。

特點(diǎn)

大束流低能量離子槍設(shè)計(jì)，極大的提高了深度分辨率
高性能離子光學(xué)系統(tǒng)，改善了二次離子傳輸效率，在提高分析效率的同時(shí)又提高了檢測靈敏度
高精度全自動(dòng)5軸樣品操控臺(tái)
不同方向進(jìn)入檢測器的二次離子，均可被高靈敏地收集檢測

應(yīng)用實(shí)例分析

采用一次離子源Cs在加速5kV束流為100nA的條件下，分析GaAs中注入的H，C，O元素?？梢钥吹紿檢測限值7.1X10¹⁶atm/cm³，O檢測限值4.4X10¹⁵atm/cm³，C檢測限值2.0X10¹⁵atm/cm³。

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