AutoChem III 規(guī)格
溫度 | 環(huán)境溫度至 1200°C |
升溫速率 | -100°C to 800°C: 高達(dá) 100°C/分鐘 800°C to 1000°C: 高達(dá) 50°C/分鐘 1000°C to 1200°C: 高達(dá) 25°C/分鐘 |
Preparation 氣 | 6 路進(jìn)氣口: H2, O2, He, Ar, H2/Ar 等 |
Carrier 氣 | 6 路進(jìn)氣口: He, Ar, H2/Ar 等 |
Loop 氣 | He, H2, CO, O2, N2O, NH3/He 等 |