目錄:上海西努光學(xué)科技有限公司>>Park原子力顯微鏡>>大樣品AFM>> Park NX20原子力顯微鏡
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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用于故障分析和大型樣品研究的納米計(jì)量工具
作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進(jìn)行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20，這款精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)。
*大全面的分析功能
Park NX20可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。優(yōu)秀的精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時(shí)，真正非接觸掃描模式讓探針尖頭更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時(shí)間和金錢。。
即便是第一次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界最為便捷的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也不用為此而時(shí)時(shí)不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析報(bào)告。
樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測量
NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所具備的。
對樣品和基片進(jìn)行表面光潔度測量
表面光潔度測量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來精確的失效分析和質(zhì)量保證。
高分辨率電子掃描模式
QuickStep SCM
最快的掃描式電容顯微鏡
PinPoint AFM
無摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡
多種技術(shù)幫助顧客減少測試時(shí)間
· CrN樣品所做的針尖磨損實(shí)驗(yàn)
通過對比重復(fù)掃描情況下探針尖頭的形狀變化，您可以輕易看到Park的真正非接觸模式的優(yōu)勢所在。
· 最佳AFM測量
借助真正非接觸模式，探針尖頭在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。氮化鉻的表面粗糙且研磨性強(qiáng)，會讓普通的探針很快變鈍。
低噪聲Z探測器測量準(zhǔn)確的樣品表面形貌
沒有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02 nm,從而達(dá)到非常精準(zhǔn)樣品形貌成像，沒有邊沿過沖無需校準(zhǔn)。Park NX20在為您提供好的數(shù)據(jù)的同時(shí)也為您節(jié)省了寶貴的時(shí)間。
· 使用低噪聲Z探測器信號進(jìn)行臺階形貌測量
· 在大范圍掃描過程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm
· 沒有前沿或后沿過沖現(xiàn)象
· 終身無需校準(zhǔn)，減少設(shè)備維護(hù)成本
閉環(huán)控制XY平板掃描器
掃描范圍 : 100μm x 100μm
50μm x 50μm
20位位置控制和24位位置傳感器
XY行程范圍 : 150 mm (200 mm選配)
Z行程范圍 : 25 mm
對焦行程范圍: 8 mm
導(dǎo)向強(qiáng)力Z掃描器
掃描范圍 : 15 µm
30 µm
20位位置控制和24位位置傳感器
樣品最大尺寸：150 mm (200 mm選配)
真空樣品吸附
10× (0.21 NA) 超長工作距離鏡頭的物鏡
20× (0.42 NA)高分辨率，長工作距離鏡頭的物鏡
同軸光源設(shè)計(jì)
10倍光學(xué)物鏡和數(shù)碼放大
光學(xué)物鏡視場 : 840 × 630 µm (420 × 315 µm選配)
CCD : 5M pixel
Dedicated system control and data acquisition software
Adjusting feedback parameters in real time
Script-level control through external programs(optional)
AFM data analysis software
ADC : 18 channels
4 high-speed ADC channels
24-bit ADCs for X, Y, and Z scanner position sensor
DAC : 17通道
2 high-speed DAC channels
20-bit DAC的X, Y和Z掃描器定位
最大數(shù)據(jù)量 : 4096 x 4096像素
3 channels of flexible digital lock-in amplifier
Digital Q control
20 embedded signal input/output ports
5個(gè)TTL
輸出 : EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias
真正非接觸模式
PinPoint™ AFM
接觸模式
側(cè)向摩擦力顯微術(shù) (LFM)
相位成像
輕敲模式
掃描電容顯微鏡 (SCM)
導(dǎo)電原子力顯微鏡
靜電力顯微鏡 (EFM)
壓電力顯微鏡 (PFM)
掃描開爾文探針顯微鏡(SKPM)
磁力顯微鏡(MFM)
掃描熱感顯微鏡(SThM)
力.距離曲線
掃描隧道顯微鏡(STM)
力調(diào)制顯微鏡(FMM)
納米壓痕
納米刻蝕
納米操縱
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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