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        1. 合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司
          中級會員 | 第7年

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          當(dāng)前位置:合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司>>實驗設(shè)備>>氣體流量控制系統(tǒng)>> MFC-5Z多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)供應(yīng)

          MFC-5Z多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)供應(yīng)

          參  考  價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

          所  在  地合肥市

          更新時間:2019-05-19 21:00:31瀏覽次數(shù):1399次

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          產(chǎn)地類別 國產(chǎn)
          MFC-5Z多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)供應(yīng) 是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。

          設(shè)備描述:

          MFC-5Z是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個7"的觸摸屏上,同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。
           

          技術(shù)參數(shù)

          名稱

          雙通道

          三通道

          四通道

          五通道

          質(zhì)量流量控制器

          工作溫度:5~45ºC
          大壓力:3x106 Pa
          精度: ±1.5% FS
          線性:±(0.5-1.5)%F.S

          重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
          流量范圍:
          一路:1~199 SCCM
          二路:1~499 SCCM
          注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

          工作溫度:5~45 ºC
          大壓力:3x106 Pa
          精度:±1.5% FS
          線性:±(0.5-1.5)%F.S
          重復(fù)精度:±0.2%F.S.
          流量范圍:
          一路: 0~100 SCCM
          二路: 1~199 SCCM 
          三路: 1~499 SCCM 
          注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

          工作溫度:5~45 ºC
          大壓力:3x106 Pa
          精度:±1.5% FS
          線性:±(0.5-1.5)%F.S.

          重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
          流量范圍:
          一路: 0~100 SCCM
          二路: 1~199 SCCM
          三路: 1~199 SCCM
          四路: 1~499 SCCM
          注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

          工作溫度: 5~45 ºC
          大壓力:3x106 Pa
          精度:±1.5% FS
          線性:±(0.5-1.5)%F.S.
          重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
          流量范圍:
          一路: 0~100 SCCM
          二路: 1~199 SCCM
          三路: 1~199 SCCM
          四路: 1~499 SCCM
          五-九路可按照客戶要求定制

          輸入電源

                  AC 220V/50Hz單相

          功率

                  23W

          PLC觸摸屏

          ·  各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上 

          · RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上,進行遠程控制

           

          機械壓力表

          ·  有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

          ·   量程:-0.1~0.15 MPa 

          針閥

          316 不銹鋼

          通氣管道

          ·  內(nèi)部連接管道為Φ不銹鋼管 

          ·  外部通氣管道為Φ聚四氟管

          混氣罐

          Φ80X120mm

          截止閥及配件

          ·316不銹鋼針閥 

           Φ6mm 不銹鋼管

          外形尺寸

           600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

          質(zhì)量認證

          CE認證

          質(zhì)保期

          一年質(zhì)保期,終身維護

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