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          日立高新離子研磨裝置IM4000

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          • 日立高新離子研磨裝置IM4000
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          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 型號(hào)
          • 品牌 Hitachi/日立
          • 廠商性質(zhì) 代理商
          • 所在地 南通市
          在線詢(xún)價(jià) 收藏產(chǎn)品

          更新時(shí)間:2020-08-13 16:58:36瀏覽次數(shù):1473

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          應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,食品,化工,建材,電子
          日立高新離子研磨裝置IM4000具有斷面加工和平面研磨功能的混合儀器!其高通量能提高加工效率:與之前的E-3500型相比,采用新型離子槍設(shè)計(jì),減少了橫截面研磨時(shí)間。(大加工率:硅元素為300微米/小時(shí)--加工時(shí)間減少了66%。

          詳細(xì)介紹

          日立高新離子研磨裝置IM4000具有斷面加工和平面研磨功能的混合儀器!

          日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000  )的混合模式帶有兩種研磨配置:
          斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,便于表面以下結(jié)構(gòu)高分辨成像。
          平面研磨:將樣品表面均勻研磨5平方毫米,從不同角度有選擇地研磨,以便突出樣品的表面特性

          日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000  )的高通量能提高加工效率:與之前的E-3500型相比,采用新型離子槍設(shè)計(jì),減少了橫截面研磨時(shí)間。(大加工率:硅元素為300微米/小時(shí)--加工時(shí)間減少了66%。

          日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000  )的可拆卸樣品臺(tái)裝置:為便于樣品設(shè)置和定義研磨邊緣,可將樣品臺(tái)裝置拆卸。
           

          日立高新離子研磨裝置IM4000?特點(diǎn)

          混合模式:兩種研磨配置
          斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,便于表面高分辨觀察
          平面研磨:不同角度有選擇地,大面積,均勻地研磨5 mm的平面,以突顯樣品的表面特性

          高效:提高加工效率,與之前的E-3500型相比,采用新型離子槍設(shè)計(jì),減少了橫截面研磨時(shí)間(大加工速度:硅材質(zhì)為300 μm/h - 加工時(shí)間減少了66%)

          可拆卸式樣品臺(tái):為便于樣品設(shè)置和邊緣研磨,樣品臺(tái)設(shè)計(jì)為可拆卸型

          規(guī)格

          項(xiàng)目描述
          斷面加工臺(tái)平面研磨臺(tái)
          氣源氬氣(Ar)
          加速電壓0-6Kv
          大研磨速率﹡¹﹡²(硅材質(zhì))約300μm/h﹡¹﹡²

          約20μm/h﹡³(點(diǎn))

          約2μm/h﹡?(面)

          大樣品尺寸20(W)×12(D)×7(H)mmΦ50×25(H)mm
          樣品移動(dòng)范圍X±7mm,Y0-+3mmX0-+5mm
          旋轉(zhuǎn)角度-1r/m,25r/m
          擺動(dòng)角度±15°,±30°,±40°±60°,±90°
          傾斜-0-90°
          氣體流量控制系統(tǒng)流量調(diào)節(jié)器
          排氣系統(tǒng)渦輪分子泵(33L/S)+機(jī)械泵(50Hz時(shí),135L/min,60Hz時(shí),162L/min)
          儀器外觀尺寸616(W)×705(D)×312(H)mm
          儀器重量主機(jī)48kg+機(jī)械泵28Kg
          可選附件光學(xué)顯微鏡(用于觀測(cè)研磨中的樣品)

          ﹡¹:此研磨速率是對(duì)研磨板邊緣處的硅材質(zhì)的材料研磨至100μm粒度時(shí)所獲得的大深度值

          ﹡²:此研磨速率是對(duì)硅材質(zhì)的材料進(jìn)行研磨兩小時(shí)后獲得的平均值

          ﹡³:照射角度60°偏心值4mm

          ﹡?:照射角度0°偏心值0mm

           

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