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日本ulvac真空泵故障常見，如真空度不高、電機異常、漏油噴油及起動困難。本文介紹了針對各種故障的快速修理方法，包括檢查故障現(xiàn)象、更換受損部件、清洗泵內(nèi)并更換潤...

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