混氣管式爐PECVD系統(tǒng)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
- 產(chǎn)品型號:AS-1200PC
- 氣路控制:浮子流量計(jì)/質(zhì)量流量計(jì)
- 真空系統(tǒng):旋片泵/擴(kuò)散泵/分子泵
- 可選配件:水冷機(jī)/數(shù)顯真空計(jì)
- 額定溫度:1200℃
- 工作溫度:≤1100℃
- 加熱元件:合金加熱絲
- 溫控方式:智能化30段PID微電腦可編程控制
- 溫控保護(hù):具有超溫及斷偶報(bào)警功能
- 熱電偶:K型
- 爐膛材質(zhì):高純氧化鋁多晶纖維
- 加熱速率:0-20℃/分
- 恒溫精度:±1℃
- 均勻性:±5℃
- 爐殼結(jié)構(gòu):雙層殼體帶風(fēng)冷系統(tǒng)
- 額定功率:4Kw
- 極限真空:6.0×10-5Pa
- 工作真空:7.6×10-4Pa
- 供電電源:110-480V 50/60Hz
- 售后服務(wù):12個月質(zhì)保,終身保修(易損件除外)
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