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          EVG 520 IS Bonding EVG 520IS晶圓鍵合

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱(chēng) 北京亞科晨旭科技有限公司
          • 品牌 其他品牌
          • 型號(hào) EVG 520 IS Bonding
          • 產(chǎn)地 奧地利
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
          • 更新時(shí)間 2024/9/25 16:27:38
          • 訪問(wèn)次數(shù) 1153

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          公司自成立以來(lái)就一直專(zhuān)注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富的專(zhuān)業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),專(zhuān)業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測(cè)、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶(hù)提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶(hù)的實(shí)際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
          目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶(hù)提供先進(jìn)的設(shè)備和專(zhuān)業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

           

          半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測(cè)設(shè)備

          價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 電子

          EVG 520IS晶圓鍵合單腔或雙腔晶圓鍵合系統(tǒng),用于小批量生產(chǎn)。

          EVG520 IS單腔單元可半自動(dòng)操作zui大200 mm的晶圓,適用于小批量生產(chǎn)應(yīng)用。 EVG520 IS根據(jù)客戶(hù)反饋和EV Group的持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新進(jìn)行了重新設(shè)計(jì),具有EV Group專(zhuān)有的對(duì)稱(chēng)快速加熱和冷卻卡盤(pán)設(shè)計(jì)。諸如獨(dú)立的頂側(cè)和底側(cè)加熱器,高壓鍵合能力以及與手動(dòng)系統(tǒng)相同的材料和工藝靈活性等優(yōu)勢(shì),為所有晶圓鍵合工藝的成功做出了貢獻(xiàn)。


          EVG 520IS晶圓鍵合特征

          全自動(dòng)處理,手動(dòng)裝卸,包括外部冷卻站

          兼容EVG機(jī)械和光學(xué)對(duì)準(zhǔn)器

          單室或雙室自動(dòng)化系統(tǒng)

          全自動(dòng)的邦定工藝執(zhí)行和邦定蓋移動(dòng)

          集成式冷卻站可實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量


          選項(xiàng)

          高真空能力(1E-6毫巴)

          可編程質(zhì)量流量控制器

          集成冷卻


          技術(shù)數(shù)據(jù)

          zui大接觸力:10、20、60、100 kN

          zui小基板尺寸單芯片100毫米

          真空:標(biāo)準(zhǔn):1E-5 mbar

          可選:1E-6 mbar



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