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當(dāng)前位置:上海富瞻環(huán)??萍加邢薰?/a>>>半導(dǎo)體行業(yè)儀器>> Omega/Theta XRD Mapping面掃功能儀
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌Freiberg Instruments
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
更新時(shí)間:2024-10-29 11:45:54瀏覽次數(shù):72次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)少子壽命測(cè)試儀µPCD/MDP (MDPpro 850+)
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Mapping面掃臺(tái)允許使用受控的網(wǎng)格模式來探索整個(gè)樣品表面。Omega/Theta XRD可以很容易地在轉(zhuǎn)盤頂部容納額外的XY定位平臺(tái)。樣品表面可以根據(jù)用戶定義的網(wǎng)格進(jìn)行掃描。由于樣品上X射線光斑的大小,小的網(wǎng)格間距約為1毫米。
產(chǎn)品介紹:
自動(dòng)Mapping面掃功能
Mapping面掃臺(tái)允許使用受控的網(wǎng)格模式來探索整個(gè)樣品表面。Omega/Theta XRD可以很容易地在轉(zhuǎn)盤頂部容納額外的XY定位平臺(tái)。樣品表面可以根據(jù)用戶定義的網(wǎng)格進(jìn)行掃描。由于樣品上X射線光斑的大小,小的網(wǎng)格間距約為1毫米。
繪圖階段可以與Omega掃描結(jié)合起來,以獲得晶體方向圖,或與搖擺曲線測(cè)量結(jié)合起來,以獲得表面的扭曲圖??商峁┯糜陲@示和分析的軟件包。
晶體的Mapping面掃功能是診斷晶體生長(zhǎng)過程中和制造過程中出現(xiàn)的質(zhì)量問題的一個(gè)寶貴工具
即使在單晶中,晶體取向也可以在表面上表現(xiàn)出微小的變化,這是由晶格缺陷引起的內(nèi)部應(yīng)變?cè)斐傻摹S行蛏L(zhǎng)的薄膜也可以有一個(gè)有趣的面內(nèi)取向分布。
繪制一個(gè)表面需要大量的測(cè)量。在這里,歐米茄掃描方法可以提供其速度方面的優(yōu)勢(shì)。圖中顯示的是在一個(gè)(Si,Ge)固溶體晶片上測(cè)量的取向圖。較大的方向差是0.03°。同心圓是按照晶體的生長(zhǎng)環(huán)進(jìn)行的。
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